오로스테크놀로지가 최첨단 반도체 공정을 위한 순수 국내 계측 기술력을 강화한다.
오로스테크놀로지는 연세대 공과대학 내 초정밀 광 기계기술 선도연구센터(ERC)와 ‘첨단 나노계측 연구센터(Advanced Nano Metrology Research Center)’를 설립했다고 8일 밝혔다.
오로스테크놀로지는 국내에서 유일하게 오버레이 계측 시스템을 자체 개발해왔다. 오버레이는 반도체 웨이퍼의 상부층과 하부층의 전자회로 패턴의 위치가 정확하게 정렬되는 지 측정하는 기술이다. ERC는 국내 유수대학의 신진연구자들이 특정 분야를 집중적으로 연구하기 위해 모인 기관이다.
양측은 고난도 기술과 미래 유망 기술의 발굴 및 공동 연구개발을 진행할 예정이다.
이준우 오로스테크놀로지 대표는 “이번 ERC와의 협력과 미래 성장을 위한 적극적인 투자로 계측장비 시장을 선도해나갈 것”이라며 “현재 오로스테크놀로지는 국내뿐만이 아니라 해외 글로벌 업체로 공급망을 확대하고 있으며, 많은 고객사의 데이터 분석을 통해 기술혁신을 이뤄내고 있다”고 말했다.
한편 현재 전 세계 주요 반도체 소자업체와 장비업체들은 공정 개선을 위한 TF (태스크포스)를 조직하고 있다. 수율 향상과 빠른 Throughput 등이 반도체 생산성 향상에 직접적으로 영향을 미치기 때문이다. 특히 반도체 공정이 미세화될수록 더 작은 단위의 오차를 측정해낼 수 있는 계측 기술에 대한 필요성도 높아지는 추세다.
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